濕敏電容傳感器

將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換為電容的變化就形成了電容式傳感器。濕敏電容傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,靈敏度高,可以進(jìn)行無接觸式測(cè)量.根據(jù)濕敏電容傳感器的工作原理不同可將其分為變間隙式、變面積式和變介電常數(shù)式三大類.其中,變介電常數(shù)式濕敏電容傳感器應(yīng)用較為廣泛。

高分子電容式濕度傳感器

在玻璃基片上,蒸鍍一層厚度約1um的叉指形金電極,作為下電極;在其表面上均勻涂覆或浸漬一層醋酸纖維膜,作為感濕膜,再在感濕膜的表面上蒸鍍一層多孔性金薄膜做上電極.將上下電極焊接出引線.這樣,由上、下電極和中間的感濕膜就構(gòu)成了一個(gè)對(duì)濕度敏感的平板形電容器。高分子電容式濕度傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示。

高分子聚合物大多是具有微小介電常數(shù)的電介質(zhì)，隨周圍環(huán)境相對(duì)濕度大小成比例地吸附和釋放水分子，使聚合物的介電常數(shù)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電容量發(fā)生明顯的變化。依據(jù)高分子材料的介電常數(shù)隨環(huán)境的相對(duì)濕度而改變的原理制成高分子電容式濕度傳感器，通過測(cè)定感濕元件電容量的變化，即可得出環(huán)境相對(duì)濕度。電容量取決于環(huán)境中水蒸氣的相對(duì)壓力、電板的有效面積和感濕膜的厚度。

圖 高分子電容式濕度傳感器的結(jié)構(gòu)

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