靜電卡盤電源ESC-5輸出電壓范圍：1kV–15kV•單輸出和雙極型•輸入到輸出隔離：>500MΩ•自動極性反轉(zhuǎn)•自動放電•短路和開路保護(hù)。
可內(nèi)置射頻濾波•模擬/RS232/DeviceNet（可選）典型應(yīng)用靜電卡盤9.5“Wx3.25”Hx6.25“D約用于<5kV（241.3x82.6x158.8mm）9.5”Wx3.25英寸高x12.5英寸深。
適用于大于5kV的型號（241.3x82.6x317.5mm）19英寸寬x3.25”高x12.5”深，適用于15kV型號（482.6x82.6×317.5mm）。
型號：
ESC-1D
ESC-2
ESC-3
ESC-3D
ESC-4
ESC-5
ESC-HV10
ESC-HVXP
