高頻反射式渦流傳感器的測(cè)量電路基本上可分為電橋法和諧振法兩類。G696L263T1Uf電橋法原理如圖5 -24歷示。它將傳感器線圈阻抗的變化轉(zhuǎn)化為電壓或電流的變化。傳感器線圈的阻抗作為傳感器電橋的一個(gè)臂接人電路。測(cè)量中，傳感器阻抗變化引起電橋失去平衡，產(chǎn)生與輸入量成正比的輸出信號(hào)。電橋法常用于兩個(gè)電渦流線圈組成的差動(dòng)傳感器。

   諧振法是將傳感器線圈的等效電感變換為電壓或電流的變化。傳感器線圈與電容組成LC并聯(lián)諧振電路。當(dāng)電感L變化時(shí)，回路的等效阻抗和諧振頻率都將隨￡變化而變化。可以通過測(cè)量回路等效阻抗和諧振頻率的方法測(cè)出電感變化。諧振法可以分為定頻電路和調(diào)頻電路。

    定頻電路測(cè)量原理如圖5 -25所示。圖中穩(wěn)頻穩(wěn)幅正弦波振蕩器的輸出信號(hào)經(jīng)由電阻尺加到傳感器上，使電路產(chǎn)生諧振。電感線圈￡感應(yīng)的高頻電磁場(chǎng)作用于金屬板表面，由于表面的渦流反射作用，使￡的電感量降低，并使回路失諧，從而改變了檢波電壓U的大小。此時(shí)，￡一戈的關(guān)系就轉(zhuǎn)換成U-茗的關(guān)系。通過檢波電壓U的測(cè)量，就可以確定距離戈的大小。當(dāng)戈趨近于無窮大時(shí)，回路處于并聯(lián)諧振狀態(tài)。

   圖5 -25定頻電路測(cè)量原理

   調(diào)頻電路原理如圖5 -26所示。傳感器作為一個(gè)LC振蕩器的電感。當(dāng)傳感器線圈與被測(cè)物體間的距離x變化時(shí)，引起傳感器線圈的電感量￡發(fā)生變化，從而使振蕩器的頻率改變，然后通過鑒頻器將頻率變化再變成電壓輸出。