光柵位移傳感器測位移
發(fā)布時間:2015/3/14 20:23:18 訪問次數:992
光柵位移傳感器是廣泛應用于精密機械制造中的一種測量工具,通常也稱為光柵尺。 AD9884AKS-140光柵尺的測量精度很高,可以用來進行納米量級的位移測量,另外與輸出模擬電信號的傳感器不同,光柵位移傳感器可以直接實現數字輸出。
1.光柵的概念
由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學器件稱為光柵,如圖5 -30所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵,它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕,每條刻痕處是不透光的,而兩刻痕之間是透光的。用不銹鋼制成的光柵稱為反射式光柵。光柵的刻痕密度一般為每毫米10,25,50,100,250線?毯壑g的距離稱為柵距形。設刻痕寬度為n,狹縫寬度為6,則形=a+b,一般情況下取a=b。
2.光柵的工作原理
把兩塊柵距相同的光柵刻線面平行安裝,且讓它們的刻痕之間有較小的夾角p。在刻線的重合處,光從縫隙透過形成亮帶,如圖5 - 31的a-o’線所示;在兩光柵刻線的錯開處,由于相互捎光作用而形成暗帶,如圖5 - 31的b-b’線所示。這種亮帶和暗帶形成的明暗相間的條紋稱為莫爾條紋,莫爾條紋方向與刻線方向近似垂直,故又稱橫向莫爾條紋。相鄰兩莫爾條紋的間距為BH,其表達式為
光柵位移傳感器是廣泛應用于精密機械制造中的一種測量工具,通常也稱為光柵尺。 AD9884AKS-140光柵尺的測量精度很高,可以用來進行納米量級的位移測量,另外與輸出模擬電信號的傳感器不同,光柵位移傳感器可以直接實現數字輸出。
1.光柵的概念
由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學器件稱為光柵,如圖5 -30所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵,它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕,每條刻痕處是不透光的,而兩刻痕之間是透光的。用不銹鋼制成的光柵稱為反射式光柵。光柵的刻痕密度一般為每毫米10,25,50,100,250線?毯壑g的距離稱為柵距形。設刻痕寬度為n,狹縫寬度為6,則形=a+b,一般情況下取a=b。
2.光柵的工作原理
把兩塊柵距相同的光柵刻線面平行安裝,且讓它們的刻痕之間有較小的夾角p。在刻線的重合處,光從縫隙透過形成亮帶,如圖5 - 31的a-o’線所示;在兩光柵刻線的錯開處,由于相互捎光作用而形成暗帶,如圖5 - 31的b-b’線所示。這種亮帶和暗帶形成的明暗相間的條紋稱為莫爾條紋,莫爾條紋方向與刻線方向近似垂直,故又稱橫向莫爾條紋。相鄰兩莫爾條紋的間距為BH,其表達式為
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