幾種抗干擾和提高測(cè)量精度干涉光路的設(shè)計(jì)。在干涉儀的光路設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)系統(tǒng)AD517LH地考慮到干涉信號(hào)的質(zhì)量、穩(wěn)定性以及測(cè)量精度和對(duì)結(jié)構(gòu)的要求等方面，圖7-5表示其他幾種激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)的光路布局。

   在圖7 -5(a)中，只用一個(gè)角錐棱鏡作為測(cè)量中的移動(dòng)鏡。從光源發(fā)出的光束由分束鏡BSi分束后直接形成參考光束，而另一束則由測(cè)量臂調(diào)制后，由分束鏡BS2與參考光束合成干涉。在實(shí)用上BSi和BS2還可以做成一體，形成較穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。

   圖7 -5(b)是一種雙程干涉儀結(jié)構(gòu)。角錐棱鏡M2仍作為測(cè)量反射鏡，反射鏡Mi是固定的參考反射鏡，而反射鏡M3是測(cè)量臂上的固定反射鏡。由于測(cè)量光束茌移動(dòng)鏡M2中往返兩次，所以對(duì)位移的靈敏度提高了一倍，產(chǎn)生了光學(xué)二倍頻效果。這種結(jié)構(gòu)還可設(shè)計(jì)成采用立方分光棱鏡的組件布局結(jié)構(gòu)，如圖(c)所示。圖(c)中把圖(b)中的Mi、M3和BS合成為一體，在分束棱鏡上鍍以反射膜形成了M2和M3。這種結(jié)構(gòu)使整個(gè)系統(tǒng)對(duì)外界的抗干擾性得到提高。

   圖7 -5(d)是一種光學(xué)倍頻的布局。這種結(jié)構(gòu)使測(cè)量光束在測(cè)量移動(dòng)鏡內(nèi)多次往返，實(shí)現(xiàn)了對(duì)位移靈敏度的提高，使之產(chǎn)生光學(xué)多倍頻效果。此時(shí)，當(dāng)M2每移動(dòng)A/2k位移就產(chǎn)生干涉信號(hào)一個(gè)周期的變化（五為光束在移動(dòng)鏡中的往返次數(shù)），其靈敏度提高了后倍。