圖2 -4是薄膜表面涂層檢查儀的原理圖，它是具EP1C3T144有名因素微小間隔測量的典型例子。被測試件4是表面有可塑性涂層的紙質(zhì)材料或聚酯薄膜，它圍繞滾筒6穿過機(jī)器。氣體激光器1發(fā)射的激光束，經(jīng)過柱面透鏡2和3擴(kuò)展，以寬度為L的入射光束照射狹縫6，它由薄膜4表面和相距為z的棱緣7組成。為了被測薄膜裝穿的方便，彳距離是必要的。調(diào)節(jié)柱面透鏡2和3之間距，使通過狹縫后的衍射波聚焦于預(yù)定距離￡處(￡》6)。其衍射條紋垂直于狹縫展開。

 光電檢測器13由光電二極管組成，置于一給定的Xk位置，將衍射條紋的光強(qiáng)信號轉(zhuǎn)變成電信號，并經(jīng)放大器放大后，由電表10進(jìn)行顯示。光電二極管的位置Xk，一般選取第二級或第三級條紋極小值作為檢測定位條紋。同時(shí)調(diào)節(jié)棱緣7改變縫寬，使定位條紋進(jìn)入光電管。

   如果開始時(shí)將沒有涂層的薄膜通過滾筒，并調(diào)整電表指零，那么當(dāng)有涂層的薄膜通過滾筒時(shí)，使縫寬變小，條紋向前移動(dòng)，亮條紋進(jìn)入檢測器，電表顯示相應(yīng)于涂層厚度的條紋移動(dòng)量。

   利用測微計(jì)8，可準(zhǔn)確移動(dòng)棱緣7，模擬涂層引起6的變動(dòng)量，校準(zhǔn)指示電表10的刻度值。因此，儀器在工作過程中，只根據(jù)電表的偏擺即可準(zhǔn)確測定涂層厚度及其變化情況。在實(shí)踐中，能穩(wěn)定分辨0.3 l.t,m的厚度變化。

   干涉濾光片14用來消除周圍雜散光的影響。容性濾波網(wǎng)絡(luò)12使?jié)L筒振動(dòng)，滾筒幾何形狀偏差以及其他微小振動(dòng)等引起的波動(dòng)取平均效應(yīng)。這些波動(dòng)的頻率通常都超過3Hz，因此很容易濾掉。