絲杠動態(tài)測量儀，用圓光FAN4810M柵作測量轉(zhuǎn)角的角度標(biāo)準(zhǔn)，用激光波長作測量線位移的長度標(biāo)準(zhǔn)。利用同步測量角位移和線位移，把兩路信號通過比相，或通過比較兩路信號的脈沖個數(shù)，而實現(xiàn)對絲杠參數(shù)的檢驗。儀器在工作過程中，由于溫度的影響，被測絲杠將伸長或縮短，此外，當(dāng)環(huán)境溫度、氣壓、濕度偏離標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)時，激光波長也將發(fā)生變化，這些都將帶來測量誤差。下面介紹的補(bǔ)償方案，假定在測量過程中，環(huán)境的溫度、氣壓、濕度不再變化。因此，這些因素引起的誤差，可看作是與測量長度成線性關(guān)系的系統(tǒng)誤差，在全長上誤差是線性累加的。根據(jù)這樣的考慮，因此，可以采用在激光一路信號中增減脈沖數(shù)的辦法來進(jìn)行補(bǔ)償。在補(bǔ)償時，先測出環(huán)境的溫度、氣壓、濕度，再根據(jù)修正公式計算出在被測長度上應(yīng)補(bǔ)償?shù)臄?shù)值。假設(shè)，根據(jù)實測的環(huán)境條件，計算得每米累積補(bǔ)償量為5斗m，工作臺每移動半個波長，激光一路發(fā)出一個脈沖，所以Sym相當(dāng)于Sym/( A/2)=Ⅳ1個脈沖 （A的單位為l.t,m）。這Ⅳ，個脈沖數(shù)需要在Im長度內(nèi)給以均勻補(bǔ)償。在Im長度內(nèi)的激光脈沖數(shù)為M，= lOOOOOOym/( A/2)。因此，為了將5斗m的誤差量在Im長度內(nèi)補(bǔ)償?shù)簦?/span>就需要在每隔M，／Ⅳ．=2 xl05個激光脈沖時，對激光信號增減一個信號。如果計算得的累積補(bǔ)償量5斗m是一個正數(shù)，那么就要求在每隔2×l05個信號時，對激光一路補(bǔ)進(jìn)一個信號，即Im內(nèi)補(bǔ)Ni個信號；反之，若計算所得的5斗m是一個負(fù)數(shù)，則就要求在每隔2x105個信號時，對激光一路堵�。p去）一個信號，即Im內(nèi)堵�、�1個信號，這樣就達(dá)到了補(bǔ)償?shù)淖饔谩?/span>

   上述補(bǔ)償原理的框圖如圖2 -35所示，上部是激光補(bǔ)償信號，下部是激光計數(shù)信號。分頻器l的比例系數(shù)M1/Ni=106/A/，可以根據(jù)不同的環(huán)境條件，即根據(jù)計算所得的不同的A/而預(yù)置。在上面的例子中，M．/N, =2×l05，即激光補(bǔ)償信號每對分頻器1送入2x105個信號時，分頻器1便輸出一個信號。若計算所得的補(bǔ)償量是正值，信號便從預(yù)置在(+)端處直接送到補(bǔ)償器2，并將此信號加到激光計數(shù)倍號上；若計算所得的補(bǔ)償量是負(fù)值，則分頻器1送出的信號便加到預(yù)置的（一）端，送到與門3，堵住一個送到補(bǔ)償器2的激光計數(shù)信號，亦即從激光計數(shù)信號中減去一個信號，這樣，便達(dá)到了補(bǔ)償?shù)哪康摹?/span>