20世紀(jì)60年代初激光的出現(xiàn)， AQW215AZ特別是氦一氖激光器的出現(xiàn)，使干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展，激光干涉測量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位監(jiān)測系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制、校正；大規(guī)模集成電路專用設(shè)備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng)、微小尺寸的測量等。

   用激光作光源的干涉儀具有測量速度高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)，在精密儀器中廣泛用于定位檢測系統(tǒng)。激光干涉定位系統(tǒng)在精密儀器中是測量的基準(zhǔn)，因此儀器定位精度的高低，很大程度上取決于這個基準(zhǔn)的精確程度。一套性能良好的激光干涉定位系統(tǒng)應(yīng)滿足下列要求。

   滿足儀器的精度要求。激光干涉定位系統(tǒng)一般是用高精度的儀器作為定位檢測系統(tǒng)，根據(jù)儀器昀設(shè)計(jì)原則，定位檢測系統(tǒng)的精度應(yīng)占儀器總精度的1/3~1/10，根據(jù)儀器的精度來確定干涉系統(tǒng)本身的精度，例如儀器總精度為1斗m，干涉定位系統(tǒng)的精度應(yīng)小于±0. lym，與之相應(yīng)，干涉系統(tǒng)的分辨率應(yīng)<0.1斗m。在干涉系統(tǒng)設(shè)計(jì)時，為滿足精度要求，應(yīng)考慮結(jié)構(gòu)選型，在布置結(jié)構(gòu)時應(yīng)盡量滿足阿貝原則及結(jié)構(gòu)的變形最小的原則，同時還應(yīng)采取必要的措施如穩(wěn)頻等保證在外界環(huán)境變化時，對干涉儀的精度影響較小，此外根據(jù)儀器精度的高低，對環(huán)境提出必要的要求。