基于新材料的納米結(jié)構(gòu)的紅外氣體傳感器，能滿足低功耗、高靈敏檢測環(huán)境，AT91M40800-33AI并便于集成；集成多敏感元件與光源于一體的氣體傳感器，能夠解決許多環(huán)境中局限一種氣體檢測的難題，MEMS窄帶光譜式光源的集成，能解決以往寬光譜光源引起的高功耗問題，實(shí)現(xiàn)超微功耗的微集成技術(shù)，滿足物聯(lián)網(wǎng)、復(fù)雜環(huán)境對(duì)微紅外多氣體傳感器的發(fā)展需求。

   圖8-9所示為多氣體微納共面集成芯片結(jié)構(gòu)設(shè)想模型。所設(shè)計(jì)的多氣體微納傳感器的敏感元件和紅外光源處于同一個(gè)平面上，由四個(gè)敏感元件和一個(gè)紅外光源組成。四個(gè)敏感元件中，敏感元1、2、3分別作為測試單元，參比敏感元作為參考單元，起參比及補(bǔ)償作用。傳感器的制作采用MEMS工藝。預(yù)期該芯片可以實(shí)現(xiàn)三種氣體（如CH。、C02、CO）的探測，該設(shè)計(jì)構(gòu)想的研究與發(fā)展，將為物聯(lián)網(wǎng)的高速發(fā)展和新型傳感器向低功耗、小體積方面發(fā)展的趨勢提供參考思路。

   圖8-9共面集成微納多參數(shù)敏感芯片結(jié)構(gòu)