當(dāng)器件工作時， LC6543N-4B52金屬互連線的鋁條內(nèi)有一定電流通過，金屬離子會沿導(dǎo)體產(chǎn)生質(zhì)量的運輸，其結(jié)果會使導(dǎo)體的某些部位產(chǎn)生空洞或晶須（小丘），這即電遷移現(xiàn)象( Electromigration)。在塊狀金屬中，其電流密度較低《l04 Alcm2)，電遷移現(xiàn)象只在近材料熔點的高溫時才發(fā)生。薄膜材料則不然，淀積在硅襯底上的鋁條，截面積很小，且具有良好的散熱條件，電流密度可高達l07 A／cm2，所以在較低溫度下就會發(fā)生電遷移。

   在一定溫度下，金屬薄膜中存在一定的空位濃度，金屬離子通過空位而運動，但自擴散只是隨機地引起原子的重新排列，只有受到外力時才可產(chǎn)生定向運動。通電導(dǎo)體中作用在金屬離子上的力F有兩種：一種是電場力F。，另一種是導(dǎo)電流子和金屬離子間互相碰撞發(fā)生動量交換而使離子產(chǎn)生遠動的力，這種力叫摩擦力F。。對鋁、金等金屬膜，載流子為電子，這時電場力F。很小，摩擦力起主要作用，離子流與載流子運動方向相同。這一摩擦力又稱“電子風(fēng)”。