這部分成奉來自于直接用于器件及晶圓制造的設(shè)備。在成本計算中以固定的一般管理費用或折舊的形式出現(xiàn)。HX1204折舊是機器由于磨損或變得過時而造成的價值損失。

   轉(zhuǎn)到300 mm晶圓和現(xiàn)在450 mm晶圓已經(jīng)遇到了設(shè)備成本的突然增加。在轉(zhuǎn)變階段，300 mm的工藝基本上與200 mm的工藝同。這意味著除了尺寸不同外工藝設(shè)備相同。然而，更大的晶圓一般要求更長的傳輸時間和更長的加工時間，導(dǎo)致生產(chǎn)率損失。這些損失等同于更多的設(shè)備以維持生產(chǎn)配額和更多的費用。圖15.3比較了對于兩種直徑主要工藝設(shè)備的生產(chǎn)率。300 mm的新工藝對在線測量和監(jiān)測的需求更大。更大直徑帶來的負(fù)面影響是如

果晶圓被錯誤加工或良品率較低，則損失更大�，F(xiàn)在，300 mm工藝正在繼續(xù)用銅金屬化，它帶著表面因素和新的低后介質(zhì)材料進(jìn)入圖像。如果整個系統(tǒng)工作在工藝最終端，監(jiān)測和控制工藝設(shè)備這些步驟的每一步都是至關(guān)重要的。關(guān)鍵尺寸測量和電子束缺陷檢查系統(tǒng)已成為工藝內(nèi)的要求，并增加到設(shè)備成本中。