干涉條紋跟蹤法是一種平衡測量法。在干涉儀測量鏡位置變化時，通過A290021T-70F光電接收器實(shí)時地檢測出干涉條紋的變化。同時利用控制系統(tǒng)使參考鏡沿相應(yīng)方向移動，以維持干涉條紋保持靜止不動。這時，根據(jù)參考鏡位移驅(qū)動電壓的大小可直接得到測量鏡的位移，圖10.8所示為利用這種原理測量微小位移的干涉測量裝置示意圖。這種方法能避免干涉測量的非線性影響，并且不需要精確的相位測量裝置；但是跟蹤系統(tǒng)的固有慣牲限制了測量的快速性，因此只能測量10 kHz以下的位移變化。

   在干涉測量中，干涉條紋也可進(jìn)行自動分析，通常的做法是，將參考光的相位人為地隨時間進(jìn)行調(diào)制（即二次調(diào)制），圖10.9所示是二次相位調(diào)制方框圖，與前面圖10.2介紹的對被測變量直接進(jìn)行相位調(diào)制形成的干涉條紋相比，這種調(diào)相方法稱為二次相位調(diào)制。它使干涉圖上各點(diǎn)處的光學(xué)相位變換為相應(yīng)點(diǎn)處時序電信號的相位，以進(jìn)行動態(tài)相位檢測。利用掃描或陣列檢測器件分別測得各點(diǎn)的時序變化，就能以優(yōu)于旯／100的相位精度和100線對/mm的空間分辨率測得干涉條紋的相位分布，從而實(shí)現(xiàn)了實(shí)時、高精度和自動化檢測。常用的干涉條紋動態(tài)檢測法包括應(yīng)用電子技術(shù)和計算機(jī)技術(shù)實(shí)時提取干涉圖信息的外差法、鎖相干涉法和條紋掃描干涉法等，與傳統(tǒng)的方法即從干涉條紋強(qiáng)度分布來求取相位變化，以獲得被測面形的方法不同，它直接對相位進(jìn)行檢測并可實(shí)時顯示，使檢測面形的精度達(dá)旯／100以上。這種數(shù)字波面干涉術(shù)的出現(xiàn)，標(biāo)志著光學(xué)檢測技術(shù)和儀器達(dá)到一個嶄新的水平。