廠房設計中,現(xiàn)代的凈化間都分為生產區(qū)和灰區(qū)(設各維護區(qū))。生產區(qū)的凈化等級為1級,絕大多數(shù)設備維護在1OO0級的服務區(qū)內進行。OP2177ARM-R2凈化間下面都設有包括大量的設施(如泵、管道系統(tǒng)、電纜等)的區(qū)域。凈化間必須有空氣處理系統(tǒng)�？諝膺M入到天花板內的特效顆粒過濾器,以層流模式流向地面,進入到空氣再循環(huán)系統(tǒng)后與補給的空氣一道返回空氣過濾系統(tǒng)。位于天花板中的特效顆粒過濾器,要么是高效顆�？諝膺^濾器,要么是超低滲透率空氣過濾器。

    凈化間需要維持恒定的溫度和濕度。一個1級0.3um凈化間的典型的溫度控制在⒛℃,相對濕度控制在佃%±10%。凈化間的光源大都采用白光,然而在對白光敏感的材料可能暴露的所有房間

(如光刻區(qū)域)以及走廊均需要安裝黃光燈。黃光源可以使用黃燈管或白燈管外加裝濾光套,盡量采用黃燈管。黃光區(qū)周邊的門和窗應有黃色濾光膜。用于燈管和窗戶的黃色濾光膜應能阻擋250~笱Onm范圍內的所有光線,并且光能損耗要小于⒛mJ/cm2,優(yōu)先采用能阻擋所有250~650nm光線的濾光膜。