1956年,Muller在CRT中充人103~102Pa的惰性氣體,并在尖端加上正高壓,使尖端產(chǎn)生正離子發(fā)射;AD5310BRM-REEL7又在發(fā)射尖端與熒光屏之問(wèn)加人一塊微通道板,用做像增強(qiáng)器,終于在熒光屏上直接觀察到尖端表面原子排列的清晰圖像,由此發(fā)明了場(chǎng)離子顯微鏡(FIM)。

   場(chǎng)離子顯示器(ΠD)實(shí)際上是受FTM、FED的啟發(fā)而發(fā)明的,但在結(jié)構(gòu)上,FID是用場(chǎng)離子發(fā)射尖劈平面陣列取代了FIM中的單個(gè)發(fā)射尖端,其目的不是用做顯微鏡,而是用做信息顯示屏。

    ΠD的結(jié)構(gòu)

   FID由背板、內(nèi)板和面板等三塊間隔幾百米的玻璃平板平行對(duì)準(zhǔn)組合而成,周邊用低熔點(diǎn)玻璃封接,各平板上的電極引線留在外面,內(nèi)部充有惰性氣體,并采用X―Y編碼選址,其結(jié)構(gòu)如圖4-13所示。

   微通道板 場(chǎng)離子發(fā)射板Y行線電極引線  X列線電極引線背板為場(chǎng)離子發(fā)射板,蒸鍍有發(fā)射離子的X列線電極系列;內(nèi)板為微通道板,蒸鍍有Y行線電極系列,內(nèi)板的另一面蒸鍍有加速電極;面板為熒光顯象板,其內(nèi)側(cè)有紅、綠、藍(lán)三基色相間的高壓彩色熒光粉。