對(duì)光斑的形狀無嚴(yán)格要求
發(fā)布時(shí)間:2017/1/26 17:47:13 訪問次數(shù):527
①對(duì)光斑的形狀無嚴(yán)格要求,即輸出信號(hào)與光的聚焦無關(guān),只與光的能量中心位置有關(guān), JS28F128P30B85這給測(cè)量帶來很多方便;
②光敏面上無須分割,消除了死區(qū),可連續(xù)測(cè)量光斑位置,位置分辨率高,一維PSD可達(dá)0.2 ym;
③可同時(shí)檢測(cè)位置和光強(qiáng)。PSD器件輸出總光電流與入射光強(qiáng)有關(guān),而各信號(hào)電極輸出光電流之和等于總光電流,所以從總光電流可求得相應(yīng)的入射光強(qiáng)。
光電位置傳感器廣泛地應(yīng)用于激光束的監(jiān)控(對(duì)準(zhǔn)、位移和振動(dòng))、平面度檢測(cè)和二維位置檢測(cè)系統(tǒng)。
但是,PSD器件的固有特性決定了其具有非線性(圖9.44所示為型號(hào)為S1544的PSD,光斑直徑為200 ym時(shí)的非線性)。PSD的線性度主要取決于在制造過程中表面擴(kuò)散層和底層材料電阻率的均勻性,以及有效的感光面積等多種因素,而且非線性沒有明確的公式作為依據(jù)。一般而言,在距離中心2/3的范圍內(nèi)PSD的線性度較好。以浙江大學(xué)研究的國內(nèi)領(lǐng)先的PSD為例,對(duì)于二維測(cè)量,PSD光敏面面積為3mmx3 mm.四邊形結(jié)構(gòu),中央60%有效光敏區(qū)域的均方根非線性達(dá)到0.15%。如果將此器件應(yīng)用于大尺寸測(cè)量的位置探測(cè),則光斑直徑不能大于1.8 mm,否則必須在PSD前方加入透鏡聚焦,這無疑增加了系統(tǒng)的誤差。
①對(duì)光斑的形狀無嚴(yán)格要求,即輸出信號(hào)與光的聚焦無關(guān),只與光的能量中心位置有關(guān), JS28F128P30B85這給測(cè)量帶來很多方便;
②光敏面上無須分割,消除了死區(qū),可連續(xù)測(cè)量光斑位置,位置分辨率高,一維PSD可達(dá)0.2 ym;
③可同時(shí)檢測(cè)位置和光強(qiáng)。PSD器件輸出總光電流與入射光強(qiáng)有關(guān),而各信號(hào)電極輸出光電流之和等于總光電流,所以從總光電流可求得相應(yīng)的入射光強(qiáng)。
光電位置傳感器廣泛地應(yīng)用于激光束的監(jiān)控(對(duì)準(zhǔn)、位移和振動(dòng))、平面度檢測(cè)和二維位置檢測(cè)系統(tǒng)。
但是,PSD器件的固有特性決定了其具有非線性(圖9.44所示為型號(hào)為S1544的PSD,光斑直徑為200 ym時(shí)的非線性)。PSD的線性度主要取決于在制造過程中表面擴(kuò)散層和底層材料電阻率的均勻性,以及有效的感光面積等多種因素,而且非線性沒有明確的公式作為依據(jù)。一般而言,在距離中心2/3的范圍內(nèi)PSD的線性度較好。以浙江大學(xué)研究的國內(nèi)領(lǐng)先的PSD為例,對(duì)于二維測(cè)量,PSD光敏面面積為3mmx3 mm.四邊形結(jié)構(gòu),中央60%有效光敏區(qū)域的均方根非線性達(dá)到0.15%。如果將此器件應(yīng)用于大尺寸測(cè)量的位置探測(cè),則光斑直徑不能大于1.8 mm,否則必須在PSD前方加入透鏡聚焦,這無疑增加了系統(tǒng)的誤差。
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