阿貝原則.在設(shè)計(jì)儀器的干涉定位系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)遵守阿貝原則。具體地說(shuō)，阿貝ICR18650-30A原則在該干涉定位系統(tǒng)中，應(yīng)包含兩方面的內(nèi)容：一是測(cè)量點(diǎn)應(yīng)與被測(cè)點(diǎn)共線，即被測(cè)點(diǎn)在激光干涉儀測(cè)量點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)方向延長(zhǎng)線上，但由于結(jié)構(gòu)的限制往往不能做到，此時(shí)被測(cè)點(diǎn)應(yīng)盡量接近其延長(zhǎng)線，以減小阿貝誤差；二是參考點(diǎn)應(yīng)選擇在與被測(cè)點(diǎn)有關(guān)的點(diǎn)上，以保證測(cè)量精度。例如，圖4 - 31所示美國(guó)GCA公司生產(chǎn)的光學(xué)圖形發(fā)生器，其參考光束的反射鏡安放在照相物鏡上，可以避免由于變形引起物鏡位置的變化而造成的誤差。

   盡可能減少雜散光。減少光學(xué)零件的數(shù)目、鍍膜、正確選擇光學(xué)元件、在光路中加光闌以及采用偏振方法等，均可減少雜散光，可根據(jù)具體的儀器采取具體措施。

   激光干涉定位測(cè)量系統(tǒng)實(shí)例

   例4 -1  自動(dòng)分步重復(fù)照相機(jī)中的激光干涉定位系統(tǒng)。

   是清華大掌研制的自動(dòng)分步重復(fù)照相機(jī)中的激光干涉定位測(cè)量系統(tǒng)的光路圖。本系統(tǒng)采用了半內(nèi)腔式激光器，輸出功率形>0. 5mW，激光束經(jīng)反射鏡1、3入射到析光鏡9，光束被分成兩束。一束透過(guò)析光鏡9進(jìn)入梯形棱鏡10到固定立體直角錐棱鏡2；另一束由析光鏡反射并通過(guò)直角錐棱鏡5和8把光束提高，經(jīng)五角棱鏡6轉(zhuǎn)900，進(jìn)入測(cè)量立體直角錐棱鏡7。