這類器件的基本結(jié)構(gòu)是由光電感光膜與掃描部分組成(圖⒏7);每個像素的尺寸為23um×13・5um,鋁電極下面有反向PN結(jié),形成存儲信號電荷的結(jié)電容。 M24128-BWMN6TP同時還有起作用的M(B晶體管。采用二層鋁電極形成電接觸。兩層鋁電極f可以防止光泄漏至掃描電路。

   H膜與鋁電極的接觸面積為⒛.5um×11um,a si:H膜平均厚度為5um,其上的氧化銦錫(ITO膜)厚度為130um9相對于鋁電極加有負(fù)壓。最上面一層為R、G、B三色濾色膜,可以單獨制成,再用膠貼到同體攝像器件上。其掃描過程與MC)S型攝像器件類似。

   圖⒏7 疊層型同體攝像器件結(jié)構(gòu)簡圖

   這種器件的優(yōu)點是靈敏度高,可以白由選擇光敏面的光譜特性,信噪比較高,像素的位置與形狀均可自由選擇。目前,固體攝像器件已經(jīng)可以取代真空像器件,被廣泛地用到家用攝像機(jī)之中。