近十幾年來工程領(lǐng)域的加工精度已達(dá)到0.1斗m，甚至0. 01 ym的水平。它對測M29W320ET-70N6量技術(shù)提出了更高的要求，迫切需要開拓新的測量手段，因此先后出現(xiàn)了各種納米測量顯微鏡，如隧道顯微鏡的問世、原子顯微鏡的研制成功。為了準(zhǔn)確測出這些納米尺度測量顯微鏡的精度，還必須溯源到光的波長上，因此，迫切需要研制精度達(dá)到納米和亞納米級的干涉儀來實(shí)現(xiàn)納米尺度的測量和標(biāo)定，因而，又相繼出現(xiàn)了精度可達(dá)到0. Inm的激光外差干涉儀和精度可達(dá)0.01nm的X光干涉儀。

   微電子技術(shù)的問世，不僅使計(jì)算機(jī)技術(shù)突飛猛進(jìn)，也使光電檢測技術(shù)有了更為廣闊的應(yīng)用空間。當(dāng)前人們在生物、醫(yī)學(xué)、航天、靈巧武器、數(shù)字通信等許多領(lǐng)域越來越多地要求微系統(tǒng)，因此微機(jī)電系統(tǒng)成為當(dāng)前研究的一個熱點(diǎn)。而微機(jī)電系統(tǒng)要求有微型測量裝置，這樣，微型光、機(jī)、電檢測系統(tǒng)也就毫無疑問地成為重要研究方向。