離軸照明同樣可改善焦深。傳統(tǒng)照明時(shí),由于掩膜衍射,有0級(jí)、±1級(jí)三束光參與成像,在理想焦平面內(nèi)這三束光的位相差(即光程差)為零。SCD0502T-4R7M-N但離焦時(shí),1級(jí)光相對(duì)0級(jí)光的相位不為零,其大小取決于離焦量和1級(jí)光在光瞳上的徑向位置,對(duì)比度因相位差而受到影響。傾斜照明時(shí)0級(jí)光與一束1級(jí)衍射光參與成像,如果使這兩束光與主光軸夾角相等,則離焦時(shí)它們之間的位相差為零,理論上不存在有離焦引起的像差。因此離軸照明的焦深有大幅度改善。

   根據(jù)不同的掩膜圖形,可采用的離軸照明方案包括:二元振幅濾波型、二元位相光柵型、變透過(guò)率弱離軸照明。

   但是,離軸照明技術(shù)也具有一定的局限性,需要進(jìn)一步研究和盡可能完善的問(wèn)題有:光刻圖形的邊緣情況不理想;對(duì)于接近分辨率極限的特征圖形鄰近效應(yīng)較嚴(yán)重;能量利用率低;照明均勻性差;對(duì)離散線條的像質(zhì)改進(jìn)作用不大;分辨率和焦深的改進(jìn)與圖形的方向和疏密有關(guān)等。這些缺點(diǎn)都有待于通過(guò)進(jìn)一步研究盡可能排除。