一般通過(guò)減少水從浸沒水罩(in1n1crsion hood)之中的流失來(lái)改進(jìn)浸沒式光刻造成的缺陷。如圖7.49(a)、圖7,49(b)所示。例如加強(qiáng)抽取的效率、 V480LA40A使用氣簾(air knife)的保護(hù)(如阿斯麥公司的1900系列光刻機(jī)),如圖7.49(c)所示;還有提高光刻膠的接觸角(contactangle),如圖7.50(a)、圖7.50(b)所示。提高接觸角需要將提高所有接觸水的表面的疏水 性能,如光刻膠表面(對(duì)于不需要頂部涂層的光刻膠)、頂部涂層表面。而且,根據(jù)掃描速度不同,這種要求也會(huì)變得不同。通常,掃描速度越快,拖曳接觸角(Rece山ng Contact Angle,RCA)就會(huì)變小,造成水的流失。一般,對(duì)于6OOmm/s的掃描速度,不產(chǎn)生超標(biāo)缺陷的拖曳接觸角的要求在65~70°之間。如遇到太多缺陷,如大于幾十顆/硅片,在沒有找到問題原因時(shí),可以通過(guò)降低掃描速度來(lái)解決。不過(guò),這樣要犧牲光刻機(jī)的單位時(shí)間產(chǎn)能。最好的辦法是增加拖曳接觸角。