高能電子射人固體樣品,與原子核和核外電子發(fā)生彈性和非彈性散射過程,激發(fā)固 A506V3.1體樣品產(chǎn)生各種物理信號,這些物理信號有背散射電子、工次電子、吸收電子、透射電子(如果樣品很薄,電子可以穿透的話)、特征X射線、俄歇電子、陰極熒光、電子束感生電效應等。用不同的方式接收和處理這些物理信號,構(gòu)成了電子顯微分析的基礎(chǔ)。掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)就是通過偵測二次電子或背散射電子,實現(xiàn)高分辨率、高放大倍數(shù)和大景深的觀測,非常適合于微小尺寸的測量。工次電子是被入射電子轟擊出來的核外電子,通常能力只有幾個電子伏特,來自于固體表面十幾到幾十埃范圍內(nèi),在這樣淺的表層里,入射電子與樣品原子只發(fā)生次數(shù)很有限的散射,基本未向側(cè)向擴展,因此叮以認為在樣品上方檢測到的二次電子主要來自于掃描束斑相當、深度為幾十埃的樣品體積內(nèi),二次電子信號源于被觀測樣品的表面,可以提供更高的空問分辨率,在CD SEM(criticaldimension)中廣泛應用。