本章參考文獻[36,38]首先構(gòu)造單臂集束型裝備的面向資源Pctri網(wǎng)模型,分析具K8D1716UTC-PI07有滯留時間約束調(diào)度問題的系統(tǒng)可調(diào)度性,同時推導出一個分析性的調(diào)度算法,用來確定可調(diào)度系統(tǒng)的周期性調(diào)度方案。本章參考文獻卩9,硐]主要的研究對象為雙臂機械手集束型裝各,分析的過程和思路與單臂集束型裝備一致。在實際加工中,集束型裝備實際加工過程的活動時間并不是確定值,它是在一定范圍內(nèi)的隨機值,而活動時間的變化經(jīng)常會導致晶圓滯留時間的波動,使得最初可行的調(diào)度方案變得不可行。針對這一特點,本章參考文獻構(gòu)造系統(tǒng)的Pc“i網(wǎng)模型并確定實時控制策略,對雙臂集束型裝備的晶圓滯留時間變化做了詳細的分析,給出一個有效方法。應用該方法可以進行系統(tǒng)可調(diào)度性分析,以找 到優(yōu)化的調(diào)度方案。