在調(diào)度集束型裝備時,必須考慮活動的時間因素,因此模型應能描述系統(tǒng)的活動時問。 K9F1G08U0B-PCB0

   在Pe網(wǎng)中,時間與庫所和變遷是有聯(lián)系的。

   由于所有的庫所和變遷都代表著需要活動的時間量,故要將時間與庫所和變遷聯(lián)系起來。令%和烏分別表示機械手從加工模塊(或真空鎖)中卸載晶圓和向加工模塊(真空鎖)中載入晶圓所需要的時間。表示機械手載著一個晶圓從源加工模塊移動到目的加工模

塊所需要的時間。不失一般性。機械手空載從-個加工模塊移動到另一個加工模塊所需的時間,與機械手載有晶圓從一個加工模塊移動到另一個加工模塊的時間相等,即機械手空載移動和負載移動的時間相等且符合現(xiàn)實情況,或者說觸發(fā)%所需的時間也是〃。%表示機械手在原地時所需時間為0。在重入過程中,每次晶圓到同一加工步驟時的機械手操作是相同的。因此,時間也一樣相等。令n表示晶圓在中的加工時間。表示僅僅當它在加工模塊n中停留時問超過單位時間才可觸發(fā)‰。機械手在%和‰中的等待時間依賴于加工時n和系統(tǒng)的調(diào)度策略。

   分別表示在%和gi,中等待時間。因為庫所‘、殤和變遷氣只是用來模擬機械手的可用性,沒有活動與它們相關(guān),所以它們所需的時問為0。庫所和變遷的符號和所需時間。連續(xù)的變遷 楊→‰→‰ 為一個交換過程,加工模塊P`的加工不可中斷,所以這個過程所需時間不等于α+〃+'。用庀表示機械手在加工模塊``執(zhí)行交換過程所需的時間。不失一般性,假設凡=龍。