單臂機(jī)械手集束型裝備可調(diào)度性與調(diào)度

   問(wèn)題描述 JS28F640J3D75

   晶圓按一定順序逐個(gè)訪問(wèn)加工模塊,晶圓經(jīng)歷的一定的加工順序稱為晶圓流模式。如 圖6-1所示的晶圓流模式(2,5,6,1,2,1,⑴,表示集束型裝備有7道工位,第1道工位有2個(gè)模塊,第2道工位有5個(gè)模塊等。生產(chǎn)運(yùn)作采用批量加工的循環(huán)式生產(chǎn)方式,在系統(tǒng)由暫態(tài)達(dá)到穩(wěn)態(tài)后,機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)和加工模塊加工作業(yè)處于循環(huán)生產(chǎn)方式。這類調(diào)度問(wèn)題以最大化產(chǎn)能,即最小化生產(chǎn)周期為目標(biāo),日的是確定一個(gè)周期內(nèi)一組機(jī)械手的作業(yè)序列。由于考慮了晶圓滯留時(shí)間約束,求解過(guò)程中可能存在不可行的作業(yè)序列,因此除了對(duì)調(diào)度模型的研究外,還要對(duì)問(wèn)題的可調(diào)度性進(jìn)行分析,進(jìn)而提出相應(yīng)的控制策略。