接口讀出電路

   接口讀出電路通過(guò)檢測(cè)科氏加速度引起的沿著檢測(cè)軸線的質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)間接地檢測(cè)科氏加速度。這個(gè)所誘導(dǎo)的運(yùn)動(dòng)是振蕩的,它的公式可表示為這里的艿s0是運(yùn)動(dòng)的振幅,φs是驅(qū)動(dòng)頻率下感應(yīng)軸響應(yīng)的相位延遲。

F4-50R12KS4  

   過(guò)測(cè)量檢測(cè)質(zhì)量塊和固定電極之間的電容來(lái)檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)。電容隨著質(zhì)量塊的位移而變化,因此是一個(gè)很好表示位移的指標(biāo)。電容感測(cè)對(duì)于低成本慣性傳感器是有吸引力的,因?yàn)樗c大多數(shù)制造工藝兼容,并且電容接口電路可以容易地用于力驅(qū)動(dòng)。電容通常使用橫向的梳齒得到,主要為了達(dá)到最大的位移和電容的靈敏度,而且利于整個(gè)感應(yīng)單元的靈敏度最大化。

    圖5.4顯示了最基本的讀出接口電路示意圖,包括感應(yīng)單元和位置感應(yīng)前端放大器。感應(yīng)單元由4個(gè)同時(shí)兼具驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)方向的梁的懸架構(gòu)成。實(shí)際上,能夠使驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)模式獨(dú)立優(yōu)化的許多更復(fù)雜的解決方案是首選的。前端放大器將質(zhì)量塊和固定電極之間的微分電容轉(zhuǎn)化為電壓或電流。不幸的是,放大器的輸出`總是被電子噪聲干擾,這個(gè)電子噪聲可以在模型中等效成在放大器的輸人端 串聯(lián)一個(gè)噪聲源。這個(gè)噪聲不僅限制了前端的位移分辨率,同時(shí)直接影響了整個(gè)接口電路的功率損耗。