由模式匹配提供改善使信噪比達(dá)到最大化需要頻率匹配誤差小于檢測(cè)模式品質(zhì)因子的倒數(shù)。例如,檢測(cè)模式品質(zhì)因子為1000,則需要小于0.1%的匹配誤差。過程公差和環(huán)境變化將低成本制造所能達(dá)到的最小匹配誤差限制在約2%,但是需要諧振頻率校準(zhǔn)。

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   一種進(jìn)行校準(zhǔn)的方法是去充分表征頻率的匹配對(duì)于物理參數(shù)的依賴性,比如溫度的特性,再采用數(shù)據(jù)去校準(zhǔn)運(yùn)行時(shí)的感應(yīng)諧振頻率。在制造中完全表征感應(yīng)元件需要很高的成本,使這項(xiàng)技術(shù)與MEMS陀螺儀應(yīng)用的成本約束相矛盾。替代的方法是持續(xù)監(jiān)控隨頻率匹配變化的傳感器性能。以前提倡的這種類型的校準(zhǔn)方案通過監(jiān)測(cè)諸如增益和相位延遲的傳感器性能來決定頻率匹配。不幸的

是,當(dāng)感應(yīng)元件是力反饋回路的一部分時(shí),這些性能不易被測(cè)試到。由于力反饋是確保模式匹配陀螺儀的正常運(yùn)行的必要條件,我們需要開發(fā)一種方法去測(cè)試在某種程度上相關(guān)的傳感器性能,同時(shí)兼容閉環(huán)回路的感應(yīng).