手工拋光。手工拋光P0403BD是另一種可以采用的替代方法。手工拋光是手持樣品環在涂有相應力度的α氧化鋁拋光膏加水,在短絨拋光布上進行的短時間拋光。與振動拋光相比,樣品更容易受到諸如“拉拔作用”或出現表面起伏之類的細部變形,因此,手工拋光的時間應盡量短,以避免產生過度的表面起伏和細部變形(實際上這兩種情況有些不I可避免)。手工拋光分為如下粗拋光和細拋光兩個步驟。

    粗拋光。粗拋光是在短絨布上用1,0um或0,3um的α氧化鋁拋光膏加水進行的拋光,拋光盤的轉速為150~⒛0〃min,壓力不超過lPa,持續1~2min。這個步驟的最后30s,施加的壓力要吏小一些。當用比600號更細的研磨料(如l⒛0號)或用與之等效的拋光膜拋光時,能縮短拋光的時問。

    細拋光。細拋光是在短絨布上用0.3um或0,05um的α氧化鋁拋光膏加水進行的拋光,拋光盤的轉速為80~125〃min,壓力不超過10kPa,持續0.5~1min。這個步驟施加的壓力要更小一些。

   在粗拋光和細拋光之間,以及細拋光之后,樣品環應該用中性洗滌劑溶液清洗并徹底漂洗。