光刻膠層透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下變得可溶
發(fā)布時(shí)間:2022/2/28 13:23:29 訪問次數(shù):1043
數(shù)據(jù)保持能力是衡量eNVM性能的重要指標(biāo),目前,對于驗(yàn)證NVM數(shù)據(jù)保持能力的方法,國內(nèi)外已經(jīng)有不少相關(guān)的研究或標(biāo)準(zhǔn),如JEDEC固態(tài)技術(shù)協(xié)會制定的JESD22-A117C和JESD47H, 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院牽頭制定的GB/T 35003—2018,但大多數(shù)主要集中在相變存儲器、Flash存儲器等的數(shù)據(jù)保持能力,而對MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持能力卻鮮有研究。
MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持能力不僅要求在高溫條件下能夠保持?jǐn)?shù)據(jù)不丟失,而且要能夠保持很長的時(shí)間,因而不僅要研究MTP存儲器的可靠性,還要能夠計(jì)算出MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持時(shí)間,這對合理拓寬MTP存儲器溫度應(yīng)用范圍及使用壽命有重要的現(xiàn)實(shí)意義。
光刻膠(Photo Resist)均勻鋪在晶圓表面,在這個(gè)過程中需要保持晶圓旋轉(zhuǎn),這樣可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。然后光刻膠層透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶。
掩模上印著預(yù)先設(shè)計(jì)好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成電路的每一層圖案。一般來說,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。
溶解光刻膠,曝光在紫外線下的光刻膠被化學(xué)試劑溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。
使用化學(xué)物質(zhì)溶解掉暴露出來的晶圓部分,剩下的光刻膠保護(hù)著不應(yīng)該蝕刻的部分。蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設(shè)計(jì)好的電路圖案。這一系列過程我們稱之為光刻。開發(fā)人員通常只能選擇在微控制器上運(yùn)行的基于軟件的解決方案(這是一種靈活的軟件解決方案,但也給微控制器帶來了計(jì)算負(fù)擔(dān)),或者使用專用集成電路 (IC)。它用空氣的高速代替燃油的高速引起霧化,空氣霧化噴嘴使其他種類噴嘴產(chǎn)生的局部富油得以避免,因此減少了積碳的形成和排氣冒煙。
使用QBL4208-41-04-025,這款電機(jī)也是來自TRINAMIC Motion Control,這是一款24 V、4000 RPM BLDC電機(jī),可提供略高于 0.25 Nm的扭矩。TRINAMIC Motion Control的QBL4208-41-04-025是一款24V、4000 RPM BLDC電機(jī),最高速度下可提供略高于0.25 Nm的扭矩。
數(shù)據(jù)保持能力是衡量eNVM性能的重要指標(biāo),目前,對于驗(yàn)證NVM數(shù)據(jù)保持能力的方法,國內(nèi)外已經(jīng)有不少相關(guān)的研究或標(biāo)準(zhǔn),如JEDEC固態(tài)技術(shù)協(xié)會制定的JESD22-A117C和JESD47H, 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院牽頭制定的GB/T 35003—2018,但大多數(shù)主要集中在相變存儲器、Flash存儲器等的數(shù)據(jù)保持能力,而對MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持能力卻鮮有研究。
MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持能力不僅要求在高溫條件下能夠保持?jǐn)?shù)據(jù)不丟失,而且要能夠保持很長的時(shí)間,因而不僅要研究MTP存儲器的可靠性,還要能夠計(jì)算出MTP存儲器的數(shù)據(jù)保持時(shí)間,這對合理拓寬MTP存儲器溫度應(yīng)用范圍及使用壽命有重要的現(xiàn)實(shí)意義。
光刻膠(Photo Resist)均勻鋪在晶圓表面,在這個(gè)過程中需要保持晶圓旋轉(zhuǎn),這樣可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。然后光刻膠層透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶。
掩模上印著預(yù)先設(shè)計(jì)好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成電路的每一層圖案。一般來說,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。
溶解光刻膠,曝光在紫外線下的光刻膠被化學(xué)試劑溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。
使用化學(xué)物質(zhì)溶解掉暴露出來的晶圓部分,剩下的光刻膠保護(hù)著不應(yīng)該蝕刻的部分。蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設(shè)計(jì)好的電路圖案。這一系列過程我們稱之為光刻。開發(fā)人員通常只能選擇在微控制器上運(yùn)行的基于軟件的解決方案(這是一種靈活的軟件解決方案,但也給微控制器帶來了計(jì)算負(fù)擔(dān)),或者使用專用集成電路 (IC)。它用空氣的高速代替燃油的高速引起霧化,空氣霧化噴嘴使其他種類噴嘴產(chǎn)生的局部富油得以避免,因此減少了積碳的形成和排氣冒煙。
使用QBL4208-41-04-025,這款電機(jī)也是來自TRINAMIC Motion Control,這是一款24 V、4000 RPM BLDC電機(jī),可提供略高于 0.25 Nm的扭矩。TRINAMIC Motion Control的QBL4208-41-04-025是一款24V、4000 RPM BLDC電機(jī),最高速度下可提供略高于0.25 Nm的扭矩。
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