EUV的極紫外光光刻機(jī)的輸出功率是250瓦，要達(dá)到這樣的輸出功率，需要0.125萬千瓦的電力輸入才能維持——相當(dāng)于2777塊3090ti顯卡全功率運(yùn)行。就是這樣的“電力黑洞”，僅維持極紫外光源這一項(xiàng)工作，一天就要消耗近3萬度電。

超高功率的極紫外激光光源在工作時會產(chǎn)生大量熱量，為了維持光源穩(wěn)定，也需要優(yōu)秀且完備的冷卻、散熱系統(tǒng)來保證設(shè)備正常工作。

為了維持光線在光刻機(jī)內(nèi)的留存率，光刻機(jī)內(nèi)需要保持真空狀態(tài)，來避免本就“脆弱”的極紫外光線被空氣吸收。

接口豐富,滿足污染源監(jiān)測的各種傳感器的接入.數(shù)據(jù)采集傳輸儀TS910具備WAN/LAN、RS232接口、RS485接口,I2C接口、TTL電平串口、開關(guān)量輸入接口、 模擬量輸入接口、繼電器輸出、電源輸出等；

支持視頻數(shù)據(jù)的采集和上傳，可遠(yuǎn)程監(jiān)測工業(yè)園器污染源現(xiàn)場情況；

支持多中心通信，可同時與多個后臺服務(wù)器進(jìn)行通信，對接企業(yè)、政府等相關(guān)環(huán)保部門；

多方式維護(hù)，支持本地網(wǎng)口或WiFi接入、支持遠(yuǎn)程接入方式對設(shè)備維護(hù)、管理、升級；

接收平臺下發(fā)指令，可對現(xiàn)場治污設(shè)備、排放閘門、開關(guān)等進(jìn)行遠(yuǎn)程控制及監(jiān)測；

斷電、斷網(wǎng)續(xù)傳和數(shù)據(jù)自動補(bǔ)發(fā)功能，保證數(shù)據(jù)完整性；

短波長的另一項(xiàng)優(yōu)勢是高準(zhǔn)確度。工作頻率為76–81GHz(對應(yīng)波長約為4mm)的毫米波系統(tǒng)將能夠檢測小至零點(diǎn)幾毫米的移動。完整的毫米波雷達(dá)系統(tǒng)包括發(fā)送(TX)和接收(RX)射頻 (RF)組件，以及時鐘等模擬組件，還有模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)、微控制器(MCU)和數(shù)字信號處理器(DSP)等數(shù)字組件。

過去，這些系統(tǒng)都是通過分立式組件實(shí)現(xiàn)的，這增加了功耗和總體系統(tǒng)成本。其復(fù)雜性和高頻率要求使得系統(tǒng)設(shè)計(jì)頗具挑戰(zhàn)性。

毫米波雷達(dá)可發(fā)射波長為毫米量級的信號。在電磁頻譜中，這種波長被視為短波長，也是該技術(shù)的優(yōu)勢之一。誠然,處理毫米波信號所需的系統(tǒng)組件(如天線)的尺寸確實(shí)很小。