通過紫外固化方法除去造孔劑從而在薄膜內(nèi)留下納米尺寸孔隙

發(fā)布時(shí)間:2023/10/3 14:07:46 訪問次數(shù):67

在后端的互連方面,主要的挑戰(zhàn)來自RC延遲,為了降低RC延遲,電介質(zhì)h值必須隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)不斷降低。

從180/130nm采用摻氟的氧化硅(FSG)到90/65/40nm采用致密摻碳的氧化硅(SiCOH),再到32nm以后的多孔的摻碳氧化硅(p SiCOH),材料的h值從3,5到3.0~2.7,再到小于2.5。

不僅金屬間電介質(zhì),在銅化學(xué)機(jī)械拋光后的表面沉積介質(zhì)阻擋層的乃值也必須不斷降低。

后端的多孔摻碳氧化硅的沉積,在常規(guī)的等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)沉積過程中,需要加人造孔劑,然后通過紫外固化的方法除去造孔劑,從而在薄膜內(nèi)留下納米尺寸的孔隙。

搭建氣敏電阻器的檢測電路，在直流供電條件下,氣敏電阻器根據(jù)敏感氣體(這里以丁烷氣體為例)的濃度變化,阻值發(fā)生變化,可在電路的輸出端(R2螨)檢測電壓的變化進(jìn)行判斷。檢測前,首先搭建電路的檢瀏環(huán)境。

電路環(huán)境中檢測氣敏電阻器的方法，根據(jù)實(shí)測結(jié)果可對氣敏電阻器的好壞作出判斷:

將氣敏電阻器放置在電路中,氣敏電阻器檢測到氣體濃度發(fā)生變化時(shí)所在電路申的電壓參數(shù)也應(yīng)發(fā)生變化,否則,多為氣敏電阻器損壞。

在正常情況下,光敏電阻器應(yīng)有一個(gè)固定阻值,所在環(huán)境光線變化時(shí),阻值隨之變化,否則多為光敏電阻器異常。

濕敏電阻器的檢測方法與熱敏電阻器的檢測方法相似,不同的是在測過改變濕度條件,用萬用表檢測濕敏電阻器的阻值變化情況判斷好壞,為電路中待測的濕敏電阻器。

即使采用相同的材料,由于要求的提高也可能需要采用新的沉積方法。

總而言之,隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的推進(jìn),對電介質(zhì)薄膜沉積的材料和工藝都提出了更高的要求,新的材料和工藝將不斷涌現(xiàn)。

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