集成電路的集成度是指單塊芯片上所容納的元件數(shù)目。集成度越高，所容納的元件數(shù)目越多。如目前已批量生產(chǎn)的64M集成電路，集成度為64M，粗略地講，這種單塊芯片上集成有6000萬個元件。

    集成電路的線寬通�？衫斫鉃樗庸さ碾娐穲D形中最小線條寬度，但在MOS電路中，人們也常用集成度來定義線寬。集成度與線寬有對應(yīng)關(guān)系，即集成度越高，線寬越小，所以，線寬也常用來表示集成電路制度技術(shù)水平的高低�，F(xiàn)在，世界上生產(chǎn)集成電路的主流產(chǎn)品線寬為0.25微米。滿足0.25微米線寬要求的硅拋光片，可用于批量生產(chǎn)64M 集成電路，也可用于試制256M集成電路樣片。