新型的旋轉(zhuǎn)貼片頭。貼片頭的結(jié)N4803FD300構(gòu)如圖11.51所示。從圖11.51中可以看出，旋轉(zhuǎn)頭從拾取元器件到貼放元器件，整個動作通過分度頭（INDEX裝置），在圓筒凸輪和片板凸輪的配合下完成拾�。N放等多種間歇動作，凸輪曲線的精密設(shè)計，確保了在0.04s內(nèi)，旋轉(zhuǎn)頭在運動加速度達1幻的情況下，高精度完成拾取一檢測一校正一貼裝整個動作。

             
    提高臼旋轉(zhuǎn)精度。貼片機定位精度包括X/Y運動系統(tǒng)定位精度與確旋轉(zhuǎn)精度，對于大尺寸的元器件來說，鏇轉(zhuǎn)起到主導作用，特別在高速運動中為了矯正元器件吸取后所發(fā)生的△鉑移量，以往這類型貼片機采用外部裝置進行校正AO但隨著貼裝速度高速化，與驅(qū)動部件的接觸也變得相當高速，驅(qū)動部件與吸嘴接觸時會給吸著的電子元器件很大沖擊，并有可能引起貼裝發(fā)生偏移，在MSR的吸嘴裝置上安裝了高精度的脈沖電動機，并直接通過高精度、低振動的諧波驅(qū)動(Harmonic Drive)減速器與吸嘴相連接，有效地提高鏇轉(zhuǎn)精度。脈沖電動機的銷度為0.072。／脈沖，通過諧波驅(qū)動器減速后，吸嘴的秒定位精度提高到0.0024。／脈沖，從而確保了實現(xiàn)高精度貼裝，如圖11.52歷示。