單電容式壓力傳感器
發(fā)布時間:2014/11/25 21:22:06 訪問次數(shù):661
這一技術(shù)的基本思路是將電極引出線進行從而消除了引出線對內(nèi)層屏蔽容性漏電,單電容式壓力傳感器.
圖2-98所示為一種生物醫(yī)學上應用的電容式聽診器結(jié)構(gòu)。它是單電容式壓力傳感器, AD7541ABQ繃緊的膜片受到聲壓的作用,使間隙發(fā)生變化,從而改變了極板間的電容。電容的變化與聲壓的大小在一定的范圍內(nèi)有線性關系。
圖2-99所示是一種單電容式高壓力傳感器,它可測4×l08 Pa極高的壓力。傳感器的動極片采用帶活塞的垂鏈式膜片結(jié)構(gòu),采用活塞是為了減小膜片的直接受壓面積,從而可使膜片減薄,以提高靈敏度。
這一技術(shù)的基本思路是將電極引出線進行從而消除了引出線對內(nèi)層屏蔽容性漏電,單電容式壓力傳感器.
圖2-98所示為一種生物醫(yī)學上應用的電容式聽診器結(jié)構(gòu)。它是單電容式壓力傳感器, AD7541ABQ繃緊的膜片受到聲壓的作用,使間隙發(fā)生變化,從而改變了極板間的電容。電容的變化與聲壓的大小在一定的范圍內(nèi)有線性關系。
圖2-99所示是一種單電容式高壓力傳感器,它可測4×l08 Pa極高的壓力。傳感器的動極片采用帶活塞的垂鏈式膜片結(jié)構(gòu),采用活塞是為了減小膜片的直接受壓面積,從而可使膜片減薄,以提高靈敏度。
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