采用內(nèi)部集成 pga（差分儀表放大器結(jié)構(gòu)）的 18 位以上 sigma delta adc + 處理器的方案

adi 或者 ti 這些大廠的 24 位高精度 sigma delta adc 太貴，不適合額溫槍這一準(zhǔn)消費(fèi)類應(yīng)用。原本在額溫槍和耳溫槍市場上的主力 24 位 sigma delta adc，早就已經(jīng)大部分是大陸和臺灣廠商的天下。大陸的納芯微、芯海，臺灣的松翰，宏康等有 24 位 sigma delta adc 技術(shù)的芯片廠家，其芯片價格都已經(jīng)很低，與分立的高精度自穩(wěn)零運(yùn)放相比成本并沒有差多少，而其性能上的優(yōu)勢和系統(tǒng)上的好處顯而易見。這里就用納芯微的 nsa2300 信號調(diào)理芯片（adc）來舉例，說明該方案和高精密運(yùn)放的方案對比。

nsa2300 是 sigma delta adc，由于其數(shù)模轉(zhuǎn)換原理和數(shù)字濾波器的關(guān)系，一般在配置為較低輸出率（odr）的情況下，可以保證很高的信噪比。比如，nsa2300 在配置為 32768 過采樣情況下，其輸入等效噪聲<80nv, 比 1uv 的要求小 10 倍以上，完全可以滿足熱電堆傳感器用于額溫槍的應(yīng)用場合。

ts5111溫度傳感器的關(guān)鍵特性：

符合jedec jesd302-1串行總線溫度傳感器規(guī)范

溫度傳感器精度

75°c<ta<95°c范圍內(nèi)的典型值為0.5°c

40°c<ta<125°c范圍內(nèi)的典型值為1.0°c

-40°c<ta<125°c范圍內(nèi)的典型值為2.0°c

雙線總線串行接口（i2c和i3c操作模式）

高達(dá)12.5mhz的傳輸速率

1.8v和1.1v電源輸入

數(shù)據(jù)包錯誤校驗(yàn)及奇偶錯誤校驗(yàn)功能

總線復(fù)位功能

通過sa引腳選擇兩個唯一地址

帶內(nèi)中斷

供貨信息

ts5111-z1ahri8溫度傳感器現(xiàn)已提供6焊球wlcsp封裝

mems振蕩器的核心基礎(chǔ)是mems諧振器。這是一種由硅蝕刻而成的結(jié)構(gòu)，可產(chǎn)生非常精確的機(jī)械振動，從而提供精確的頻率。自由梁短支架（ffs）諧振器設(shè)計。諧振梁與基板上的四個錨定位置接觸，它位于基板之上并留有狹小的間隙，以便諧振器能夠自由移動。

為使用掃描電子顯微鏡（sem）觀察到的微機(jī)械加工ffs諧振梁（僅為30 × 50 μm）。

ffs諧振梁下方的電極形成了靜電換能器。當(dāng)諧振梁和電極處于不同電壓下時，它們之間會產(chǎn)生一個力。換能器間隙的作用相當(dāng)于時變電容，偏置時以諧振頻率產(chǎn)生輸出電流。

為了實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)因數(shù)，mems諧振器將通過封蓋和密封工藝（采用熔接技術(shù)）密封在真空環(huán)境中。由此實(shí)現(xiàn)的晶圓級封裝可廣泛用于各種注塑ic封裝。密封mems芯片內(nèi)的諧振器如何堆疊到cmos應(yīng)用特定的集成電路（asic）上。mems器件通過接合線連接到asic芯片。此處給出了完整mems振蕩器結(jié)構(gòu)的分解。