光源照明對光電檢測系統(tǒng)的檢測效果起著非常重要的作用，照明的種類繁多，用途也A12188非常廣泛。本節(jié)只介紹常用的照明方式。

   1．直接照明

   直接照明按照明方法分為透射光亮視場照明、反射光亮視場照 明、透射光暗視場照明和反射光暗視場照明，分別如圖3 -15(a)、(b)、(c)、(d)所示，圖中陰影部分為照明光場。按光源類型分為白熾燈熙明、光纖照明和LED照明等。

   1)透射光亮視場照明

   照明光源和物鏡在物的兩側(cè)，物平面上各部分的透射率不同而調(diào)制照明光。缺陷的玻璃板時，得到均勻的亮視場。

   2)反射光亮視場照明

   照明光源和物鏡在物的同側(cè)，物平面上各部分的反射率不同而調(diào)制照明光。缺陷的漫反射表面時，得到均勻的亮視場。

   3)透射光暗視場照明

   照明光源和物鏡在物的兩側(cè)，傾斜入射的照明光束在物鏡側(cè)向通過，當(dāng)物體為無缺陷的玻璃板時，無光線進入物鏡成像，因此得到均勻的暗視場。物體有缺陷時，光束通過物體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的衍射、折射和反射射向物鏡而形成物體缺陷的像。

  4)反射光暗視場照明

  照明光源和物鏡在物的同側(cè)，從物鏡旁側(cè)入射到物體的照明光束經(jīng)反射后在物鏡側(cè)向通過，當(dāng)物體為無缺陷的反射鏡面時，無光線進入物鏡成像，得到均勻的暗視場。物體有缺陷時，光束通過衍射和反射射向物鏡而形成物體的像。