莫爾條紋與光柵柵距誤羞的關(guān)系
發(fā)布時(shí)間:2015/5/30 17:09:58 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):1791
莫爾條紋與光柵柵距誤羞的關(guān)系。可以看出,莫爾條紋是光柵副的很多條柵線(xiàn)綜合作用的結(jié)果。 EF6024AFC256在實(shí)際應(yīng)用中,條紋信號(hào)都采用具有一定光敏面積的光電器件進(jìn)行接收。將條紋光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)而輸出。如果光柵的某一柵距有誤差,雖然該
柵線(xiàn)交點(diǎn)的連線(xiàn)不在一條直線(xiàn)上,但通過(guò)光電接收器所接收到的條紋光信號(hào)是整個(gè)光敏面區(qū)域內(nèi)所有柵線(xiàn)交點(diǎn)的綜合結(jié)果,因此對(duì)各柵距的誤差起了平I均作用。所以莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用。
根據(jù)偶然誤差規(guī)律,假設(shè)單個(gè)柵距誤差為艿,形成莫爾條紋區(qū)域內(nèi)有Ⅳ條柵線(xiàn),則綜合柵距誤差△.
例如,對(duì)于柵距c=0.02mm的光柵來(lái)說(shuō),假定單線(xiàn)誤差6=lpm,若采用10×lOmm的硅光電池接收莫爾條紋,則Ⅳ= 1010. 02= 500,由式(4- 13)求得光柵的綜合柵距誤差△:±0. 04ym。這說(shuō)明因莫爾條紋對(duì)柵距誤差的平均作用,使實(shí)際誤差減小了20多倍。根據(jù)莫爾條紋的這一特性,一方面可以比較容易地實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量;另一方面還可以利用光柵來(lái)控制制造光柵。也就是采用精度較低的光柵,得到精度很高的莫爾條紋,用莫爾條紋再控制光柵刻線(xiàn)機(jī),刻制出高精度的光柵,使后一代光柵比前一代光柵的質(zhì)量更高。這就是光學(xué)優(yōu)生法原理。
莫爾條紋與光柵柵距誤羞的關(guān)系?梢钥闯,莫爾條紋是光柵副的很多條柵線(xiàn)綜合作用的結(jié)果。 EF6024AFC256在實(shí)際應(yīng)用中,條紋信號(hào)都采用具有一定光敏面積的光電器件進(jìn)行接收。將條紋光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)而輸出。如果光柵的某一柵距有誤差,雖然該
柵線(xiàn)交點(diǎn)的連線(xiàn)不在一條直線(xiàn)上,但通過(guò)光電接收器所接收到的條紋光信號(hào)是整個(gè)光敏面區(qū)域內(nèi)所有柵線(xiàn)交點(diǎn)的綜合結(jié)果,因此對(duì)各柵距的誤差起了平I均作用。所以莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用。
根據(jù)偶然誤差規(guī)律,假設(shè)單個(gè)柵距誤差為艿,形成莫爾條紋區(qū)域內(nèi)有Ⅳ條柵線(xiàn),則綜合柵距誤差△.
例如,對(duì)于柵距c=0.02mm的光柵來(lái)說(shuō),假定單線(xiàn)誤差6=lpm,若采用10×lOmm的硅光電池接收莫爾條紋,則Ⅳ= 1010. 02= 500,由式(4- 13)求得光柵的綜合柵距誤差△:±0. 04ym。這說(shuō)明因莫爾條紋對(duì)柵距誤差的平均作用,使實(shí)際誤差減小了20多倍。根據(jù)莫爾條紋的這一特性,一方面可以比較容易地實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量;另一方面還可以利用光柵來(lái)控制制造光柵。也就是采用精度較低的光柵,得到精度很高的莫爾條紋,用莫爾條紋再控制光柵刻線(xiàn)機(jī),刻制出高精度的光柵,使后一代光柵比前一代光柵的質(zhì)量更高。這就是光學(xué)優(yōu)生法原理。
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