(1)“共路”原則。在干涉儀的結(jié)構(gòu)布局設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)盡量遵守“共路”原則；“共路”是指測量光束與參考光束應(yīng)接近同一路徑，這樣可以認(rèn)為兩束光處于相同的外界環(huán)境， ASMT-YTB2-0BB02可避免外界環(huán)境變化對精度的影響。為了實(shí)現(xiàn)共路的原則，在設(shè)計(jì)干涉儀的光時(shí)，可將參考光束轉(zhuǎn)折成與測量光束平行。同時(shí)應(yīng)盡量做到測量光束與參考光束等光程。等光程不但是光路長度相等，而且兩光路中的光學(xué)元件的設(shè)置也應(yīng)盡量類似。

   (2)阿貝原則。在設(shè)計(jì)儀器的干涉定位系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)遵守阿貝原則。具體地說，阿貝原則在該干涉定位系統(tǒng)中，應(yīng)包含兩方面的內(nèi)容：一是測量點(diǎn)應(yīng)與被測點(diǎn)共線，即被測點(diǎn)在激光干涉儀測量點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)方向延長線上，但由于結(jié)構(gòu)的限制往往不能做到，此時(shí)被測點(diǎn)應(yīng)盡量接近其延長線，以減小阿貝誤差；二是參考點(diǎn)應(yīng)選擇在與被測點(diǎn)有關(guān)的點(diǎn)上，以保證測量精度。例如，圖4 - 31所示美國GCA公司生產(chǎn)的光學(xué)圖形發(fā)生器，其參考光束的反射鏡安放在照相物鏡上，可以避免由于變形引起物鏡位置的變化而造成

的誤差。

   (3)兩光束在相干點(diǎn)的光強(qiáng)應(yīng)盡量相等，以獲得最清晰的對比度和最好的干涉圖形。

   (4)盡可能減少雜散光。減少光學(xué)零件的數(shù)目、鍍膜、正確選擇光學(xué)元件、在光路中

加光闌以及采用偏振方法等，均可減少雜散光，可根據(jù)具體的儀器采取具體措施。