鏡像式讀數(shù)頭
發(fā)布時(shí)間:2015/5/30 17:34:01 訪問次數(shù):1464
鏡像式讀數(shù)頭。直讀式EP1C20F400C8N和分光式光柵讀數(shù)頭,都是利用指示光柵和主光柵形成的莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行工作的。鏡像式光柵讀數(shù)頭則不同,它是利用主光柵和它本身的鏡像所產(chǎn)生的莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行工作的。圖4—22為鏡像式光柵讀數(shù)頭的典型光路圖。
圖4—22(a)為透射鏡像式光柵讀數(shù)頭的光路圖。光源1的光束經(jīng)析光鏡’7和聚光鏡6出射平行光束照明主光柵3,而物鏡4和反射鏡5構(gòu)成望遠(yuǎn)系統(tǒng),主光柵經(jīng)此系統(tǒng)可在其上產(chǎn)生自身的鏡像,主光柵3和自身鏡像形成光閘莫爾條紋,再經(jīng)聚光和折光鏡7成像在光電接收器2上,獲得光閘莫爾條紋的光電信號(hào)。
圖4—22(b)為反射鏡像式光柵讀數(shù)頭的光路圖。主光柵3為反射式光柵。其泵統(tǒng)的工作原理與圖4—22(a)相同。
鏡像式光柵讀數(shù)頭具有兩個(gè)顯著的優(yōu)點(diǎn):一是無須考慮光柵副間的間隙,它可得到無間隙的莫爾條紋信號(hào);二是輸出信號(hào)的頻率增加一倍,測(cè)量分辨率提高一倍,因?yàn)殓R像與主光柵的運(yùn)動(dòng)速度相同而方向相反的原因。但這類型的讀數(shù)頭需要一個(gè)量的成像物鏡4。
鏡像式讀數(shù)頭早期的應(yīng)用偏重于小柵距的透射光柵,實(shí)際上也適用于較粗柵距的光柵和反射式光柵。
鏡像式讀數(shù)頭。直讀式EP1C20F400C8N和分光式光柵讀數(shù)頭,都是利用指示光柵和主光柵形成的莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行工作的。鏡像式光柵讀數(shù)頭則不同,它是利用主光柵和它本身的鏡像所產(chǎn)生的莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行工作的。圖4—22為鏡像式光柵讀數(shù)頭的典型光路圖。
圖4—22(a)為透射鏡像式光柵讀數(shù)頭的光路圖。光源1的光束經(jīng)析光鏡’7和聚光鏡6出射平行光束照明主光柵3,而物鏡4和反射鏡5構(gòu)成望遠(yuǎn)系統(tǒng),主光柵經(jīng)此系統(tǒng)可在其上產(chǎn)生自身的鏡像,主光柵3和自身鏡像形成光閘莫爾條紋,再經(jīng)聚光和折光鏡7成像在光電接收器2上,獲得光閘莫爾條紋的光電信號(hào)。
圖4—22(b)為反射鏡像式光柵讀數(shù)頭的光路圖。主光柵3為反射式光柵。其泵統(tǒng)的工作原理與圖4—22(a)相同。
鏡像式光柵讀數(shù)頭具有兩個(gè)顯著的優(yōu)點(diǎn):一是無須考慮光柵副間的間隙,它可得到無間隙的莫爾條紋信號(hào);二是輸出信號(hào)的頻率增加一倍,測(cè)量分辨率提高一倍,因?yàn)殓R像與主光柵的運(yùn)動(dòng)速度相同而方向相反的原因。但這類型的讀數(shù)頭需要一個(gè)量的成像物鏡4。
鏡像式讀數(shù)頭早期的應(yīng)用偏重于小柵距的透射光柵,實(shí)際上也適用于較粗柵距的光柵和反射式光柵。
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