反射分光式光柵讀數(shù)頭的光路
發(fā)布時間:2015/5/30 17:32:04 訪問次數(shù):988
狹縫2的作用是只讓(0,1)和(1,0)衍射光束通過,而阻擋其他各級衍射光,以提高EP1C20F400C6輸出信號的反差。為了消除兩光柵之間間隙變化造成的測量誤差,應(yīng)使入射光束和出射光束對光柵成鏡像對稱,即滿足p=一理最小偏差條件。由吁多級衍射光束的影響可以 通過狹縫2的作用而大為削弱,因此這種讀數(shù)頭可采用較大的光柵間隙。
圖4 -21(b)為反射分光式光柵讀數(shù)頭的光路圖。光源7發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡6成平行光束投影到分光棱鏡8。當(dāng)經(jīng)過半透分光面時被分成CD和CE兩束光照射到主光柵5的A和B兩點(diǎn)。主光柵具有等腰三角形的刻槽,使光柵在自準(zhǔn)直狀態(tài)下工作。則最大強(qiáng)度的衍射光沿原路反射回分光棱鏡8,此時兩路光束在半透膜的C點(diǎn)相遇而發(fā)生干涉,衍射光產(chǎn)生的干涉條紋經(jīng)聚光鏡3后由光電接收器l所接收。在工作過程中,當(dāng)光柵5移動Ac時,入射光束EB的光程將變化2BB.=2Acsin[3.
在這種情況,當(dāng)光柵移動一個柵距時,相干光束的位相差將變化4×2耳,在視場中將有四個干涉條紋移過。
在實(shí)際應(yīng)用中,若光柵的刻劃密度為600線對/mm,則移過一條干涉條紋時,相當(dāng)于光柵移動△c=l/4×1/600=0.42斗m,所以這種分光式的讀數(shù)頭分辨率較高。
狹縫2的作用是只讓(0,1)和(1,0)衍射光束通過,而阻擋其他各級衍射光,以提高EP1C20F400C6輸出信號的反差。為了消除兩光柵之間間隙變化造成的測量誤差,應(yīng)使入射光束和出射光束對光柵成鏡像對稱,即滿足p=一理最小偏差條件。由吁多級衍射光束的影響可以 通過狹縫2的作用而大為削弱,因此這種讀數(shù)頭可采用較大的光柵間隙。
圖4 -21(b)為反射分光式光柵讀數(shù)頭的光路圖。光源7發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡6成平行光束投影到分光棱鏡8。當(dāng)經(jīng)過半透分光面時被分成CD和CE兩束光照射到主光柵5的A和B兩點(diǎn)。主光柵具有等腰三角形的刻槽,使光柵在自準(zhǔn)直狀態(tài)下工作。則最大強(qiáng)度的衍射光沿原路反射回分光棱鏡8,此時兩路光束在半透膜的C點(diǎn)相遇而發(fā)生干涉,衍射光產(chǎn)生的干涉條紋經(jīng)聚光鏡3后由光電接收器l所接收。在工作過程中,當(dāng)光柵5移動Ac時,入射光束EB的光程將變化2BB.=2Acsin[3.
在這種情況,當(dāng)光柵移動一個柵距時,相干光束的位相差將變化4×2耳,在視場中將有四個干涉條紋移過。
在實(shí)際應(yīng)用中,若光柵的刻劃密度為600線對/mm,則移過一條干涉條紋時,相當(dāng)于光柵移動△c=l/4×1/600=0.42斗m,所以這種分光式的讀數(shù)頭分辨率較高。
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