該干涉系統(tǒng)在設計時應考慮以下幾個問題。

   (1)為適應一般工業(yè)生產(chǎn)的需要，AT25640N-10SI-2.7應簡化結(jié)構，降低成本性能，力求作到穩(wěn)定。采用一套干涉系統(tǒng)測量菇、），兩個坐標的方案，減少了一套干涉系統(tǒng)，即將五角棱鏡固定在中滑板上實現(xiàn)戈方向的測量，而立體直角錐棱鏡固定在上滑板上實現(xiàn)），方向測量。但該系統(tǒng)的缺點是戈、y運動有交叉影響，測量光軸與工作物軸線不完全重合，存在一定的阿貝誤差，直接影響整機的精度。因整機精度要求l l.t,m—0.5¨m的范圍，該系統(tǒng)能滿足要求。

   (2)該干涉系統(tǒng)另一簡化是取消了常規(guī)干涉系統(tǒng)中必備的準直系統(tǒng)，直接采用激光器發(fā)出的光束，因此也省去了接收元件前的聚光系統(tǒng)歿一系列的光闌，同時由于光束直徑很細，使整套光學元件尺寸大大縮小，使整機的體積相應縮小。

   (3)從整體結(jié)構布局考慮采取的是齊端式，由于結(jié)構限制不遵守共路原則，為減少外界環(huán)境對干涉系統(tǒng)精度的影響，一是用機罩將整個干涉系統(tǒng)罩在一起。為防止激光器的影響，將激光器與干涉儀隔開，采用單獨的機罩，故使干涉儀的全部元件處于相同的外界環(huán)境。二是兩光路條件盡量做到光程相同，故在參考光路中加梯形棱鏡，做到兩光路中經(jīng)過光學元件的光程相等，同時也縮小了結(jié)構尺寸。

   (4)在元件的選擇上主要是調(diào)整、安裝方便，采用了配對的立體直角錐棱鏡、五角棱鏡及直角棱鏡等。這些光學元件雖加工精度要求高，但給裝配調(diào)整帶來了方便，適于工業(yè)生產(chǎn)需要。

   (5)兩路干涉信號相差900相位。采用在析光鏡上鍍鋁膜的方法，配合調(diào)整兩個立體直角錐棱鏡可獲得較滿意的正弦和余弦信號。

   (6)光軸的調(diào)整是干涉測量系統(tǒng)中的重要問題。所謂光軸的調(diào)整是指測量光束應與主機z、y運動方向的平行度的調(diào)整。由于采用五角棱鏡，石、y的運動垂直度可由棱鏡的加工精度保證，只要調(diào)整一個運動方向即可，提升棱鏡（兩塊直角棱鏡5，8）的結(jié)構設計有微調(diào)結(jié)構，調(diào)好后鎖緊即可保證工作穩(wěn)定。