(1)位置靈敏度(Position Sensitivity)。F-ONECHIP4-DB對于給定的噪聲水平，靈敏度高可使位置測量的分辨率提高，即

   位置靈敏度= auax

   (2)線性度(Linearity)。如果光斑是均勻的，分割型器件的線性應(yīng)該較好。實(shí)際上使用高斯光束，中間的刻痕有一定的寬度（通常為0.1 mm），因而使線性度下降。分割器件多用于在零點(diǎn)附近作微小偏差測量。

    橫向器仵有接近于理想的線性，對于單軸的情況更是如此。

    (3)最小可探測位移盯(x)(Minimum Detected Displacement)。最小可探測位移和系統(tǒng)的位置靈敏度以及噪聲有關(guān)參數(shù)見表5 -5。

   表5 -5  最小可探測位移和系統(tǒng)的位置靈敏度以及噪聲有關(guān)參數(shù)

   (4)響應(yīng)時(shí)間。

   分割器件的響應(yīng)時(shí)間< 50ns~1rls；

   橫向器件的響應(yīng)時(shí)間為lps~lOOl.ts。