氫氣還原三氯硅烷
發(fā)布時(shí)間:2015/10/24 18:59:51 訪問次數(shù):1044
·氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
·多晶到單晶、 MC9S12DG128BCPV摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
·晶棒到晶圓的制備
半導(dǎo)體制造的第一個(gè)階段是從泥土里選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。，提純從化學(xué)反應(yīng)開始，對(duì)于硅，化學(xué)反應(yīng)是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷．，雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘?jiān)铩９杌镌俸蜌浞磻?yīng)（見圖3.3）生成半導(dǎo)體級(jí)的硅。這樣的硅的純度達(dá)99. 999 999 90/0，是地球上最純的物質(zhì)之一i3。它有一種稱為多晶或多晶硅( polysilicon)的晶體結(jié)構(gòu)，
圖3.3氫氣還原三氯硅烷
·氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
·多晶到單晶、 MC9S12DG128BCPV摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
·晶棒到晶圓的制備
半導(dǎo)體制造的第一個(gè)階段是從泥土里選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。，提純從化學(xué)反應(yīng)開始，對(duì)于硅，化學(xué)反應(yīng)是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷．，雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘?jiān)铩９杌镌俸蜌浞磻?yīng)（見圖3.3）生成半導(dǎo)體級(jí)的硅。這樣的硅的純度達(dá)99. 999 999 90/0，是地球上最純的物質(zhì)之一i3。它有一種稱為多晶或多晶硅( polysilicon)的晶體結(jié)構(gòu)，
圖3.3氫氣還原三氯硅烷
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