擴(kuò)散源
發(fā)布時(shí)間:2015/11/5 18:24:48 訪問次數(shù):894
淀積依賴于待摻雜物質(zhì)蒸氣原子在爐管中的濃度。蒸氣產(chǎn)生于爐管設(shè)備上的雜質(zhì)源箱內(nèi)的雜質(zhì)源，AD6630AR由攜帶氣體帶入爐管中。雜質(zhì)源為液態(tài)、固態(tài)或氣態(tài)。多種元素有超過一種形態(tài)的雜質(zhì)源可以使用（見圖11. 13）”。通用的另一種固態(tài)源是平面源“晶圓”。它們是與晶圓一樣大小的一個(gè)塊。硼塊是含硼和氮的化合物( BN)，也有町用做砷和磷摻雜的雜質(zhì)塊。
雜質(zhì)塊堆放于淀積舟上，每?jī)善骷A放一片雜質(zhì)塊。這種排列方式被稱為近鄰固態(tài)源( solid neighbor source)。在爐管中，雜質(zhì)從雜質(zhì)塊中擴(kuò)散出，通過很短的距離到達(dá)并擴(kuò)散到晶圓表面內(nèi)部。
第三種固態(tài)源是直接旋轉(zhuǎn)涂敷在晶圓表面的。源是粉末狀氧化物（同遠(yuǎn)程源相同）與溶劑的混合物。留在晶圓表面的就是一層摻雜的氧化物。淀積爐管的熱使雜質(zhì)從氧化物中擴(kuò)散到晶圓內(nèi)部。
淀積依賴于待摻雜物質(zhì)蒸氣原子在爐管中的濃度。蒸氣產(chǎn)生于爐管設(shè)備上的雜質(zhì)源箱內(nèi)的雜質(zhì)源，AD6630AR由攜帶氣體帶入爐管中。雜質(zhì)源為液態(tài)、固態(tài)或氣態(tài)。多種元素有超過一種形態(tài)的雜質(zhì)源可以使用（見圖11. 13）”。通用的另一種固態(tài)源是平面源“晶圓”。它們是與晶圓一樣大小的一個(gè)塊。硼塊是含硼和氮的化合物( BN)，也有町用做砷和磷摻雜的雜質(zhì)塊。
雜質(zhì)塊堆放于淀積舟上，每?jī)善骷A放一片雜質(zhì)塊。這種排列方式被稱為近鄰固態(tài)源( solid neighbor source)。在爐管中，雜質(zhì)從雜質(zhì)塊中擴(kuò)散出，通過很短的距離到達(dá)并擴(kuò)散到晶圓表面內(nèi)部。
第三種固態(tài)源是直接旋轉(zhuǎn)涂敷在晶圓表面的。源是粉末狀氧化物（同遠(yuǎn)程源相同）與溶劑的混合物。留在晶圓表面的就是一層摻雜的氧化物。淀積爐管的熱使雜質(zhì)從氧化物中擴(kuò)散到晶圓內(nèi)部。
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