隨著多數(shù)產(chǎn)業(yè)的成熟，HY57V561620FTP-H-C技術(shù)日趨穩(wěn)定，而市場在拉動需求的增長，這樣的技術(shù)和市場條件是工藝自動化的前提。從20世紀(jì)40年代開始，石油提煉的自動化將工人的數(shù)量降低了50%[9j。而到20世紀(jì)70年代，當(dāng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備設(shè)計成可以接收裝在片匣中的晶圓時，導(dǎo)體加工的自動化也就開始了。從那以后，半導(dǎo)體業(yè)的自動化就向著夢想中的完全“無人無燈光”的芯片廠邁進(jìn)。自動化階段從單純的工藝設(shè)備發(fā)展到整個工廠。

    工藝自動化

   自動化的第一步就是工藝自身的自動化。大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備，從定義上說，都是將工藝的一部分自動化。先刻膠的勻膠機(jī)自動地將底膠和光刻膠以正確的速率及合適的時間涂在晶圓表面。自動氣體流量控制器將氣體以正確的流量、正確的壓力和正確的時間通進(jìn)設(shè)備中去。工藝的自動化通過降低對操作員的技能、培訓(xùn)、狀態(tài)和疲勞程度的依賴性而帶來了工藝和產(chǎn)品的一致性。

   多數(shù)設(shè)備是通過編在隨機(jī)的計算機(jī)中的一系列指令來控制的。程序被稱為“處方”( recipe)。處方由操作員或通過中央主機(jī)裝載到機(jī)器中。