標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)電路(standard Eva丨uaUOn Circuit, SEC)

   承制方應(yīng)具有包含準(zhǔn)備認(rèn)證的技術(shù)或工藝的SEC。承制方的sEC應(yīng)用于證明技術(shù)制造工藝可靠性。SEC設(shè)計(jì)文件應(yīng)包含:設(shè)計(jì)方法、DAC08ES設(shè)計(jì)軟件、所執(zhí)行的功能,以及依據(jù)所用晶體管或門的數(shù)量得出的尺寸和其性能的模擬。SEC和實(shí)際器件的文件化程序應(yīng)是相同的,以便可以得出其相關(guān)性。sEC可以是專門設(shè)計(jì)的質(zhì)量與可靠性的監(jiān)控樣品,也可以是系統(tǒng)中使用的實(shí)際產(chǎn)品。sEC應(yīng)包含下述要求:

   ①復(fù)雜度,數(shù)字器件sEC的復(fù)雜度應(yīng)至少包括QML線上要制造的最大規(guī)模器件所含晶體管數(shù)目的一半。對(duì)于模擬器件,SEC應(yīng)體現(xiàn)工藝技術(shù)流程的功能,具有典型的復(fù)雜度,并且電路單元由電路的主要類型組成。

   ②功能性,sEC應(yīng)包含全功能電路,其測(cè)試和篩選應(yīng)采用與QML器件相同的方式。

   ③設(shè)計(jì),SEC的設(shè)計(jì)應(yīng)重點(diǎn)突出設(shè)計(jì)能力,SEC的結(jié)構(gòu)應(yīng)有助于失效的判

   ④sEC應(yīng)在申請(qǐng)或已經(jīng)獲得QML認(rèn)證的晶圓生產(chǎn)線上進(jìn)行加工。

   ⑤封裝,SEC應(yīng)封裝在檢驗(yàn)合格的外殼中。