曝光方式上有接觸式曝光和非接觸式曝光
發(fā)布時間:2016/8/4 20:19:51 訪問次數(shù):3095
曝光時,在掩膜板的輔助下,使用特定波長的光對覆蓋在晶片上的光刻膠進(jìn)行選擇性照射。 MC13201FC光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),從而使正膠與負(fù)膠被照射區(qū)域化學(xué)成分發(fā)生變化,這些化學(xué)成分發(fā)生變化區(qū)域的光刻膠,在下一步顯影中正膠被保留,負(fù)膠被顯影液溶解掉。曝光中涉及的主要參數(shù)有曝光能量、對版精度、曝光方式等,這些參數(shù)都會很大程度影響光刻的效果。
曝光方式上有接觸式曝光和非接觸式曝光。其中接觸式曝光做出的圖形更加接近掩膜板,但是曝光時晶片對掩膜板的刮傷也會加重,使得圖形不完整,需要更換更多的掩膜板。非接觸曝光不會對掩膜板產(chǎn)生刮傷,但是由于晶片與掩膜板之間存在一定的間隙,會對曝
光效果產(chǎn)生一定的影響。
曝光時,在掩膜板的輔助下,使用特定波長的光對覆蓋在晶片上的光刻膠進(jìn)行選擇性照射。 MC13201FC光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),從而使正膠與負(fù)膠被照射區(qū)域化學(xué)成分發(fā)生變化,這些化學(xué)成分發(fā)生變化區(qū)域的光刻膠,在下一步顯影中正膠被保留,負(fù)膠被顯影液溶解掉。曝光中涉及的主要參數(shù)有曝光能量、對版精度、曝光方式等,這些參數(shù)都會很大程度影響光刻的效果。
曝光方式上有接觸式曝光和非接觸式曝光。其中接觸式曝光做出的圖形更加接近掩膜板,但是曝光時晶片對掩膜板的刮傷也會加重,使得圖形不完整,需要更換更多的掩膜板。非接觸曝光不會對掩膜板產(chǎn)生刮傷,但是由于晶片與掩膜板之間存在一定的間隙,會對曝
光效果產(chǎn)生一定的影響。
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