(1)X射線雙晶衍射

   X射線雙晶衍射方法是研究JANTX2N6782外延捌料組分和晶體結(jié)構(gòu)的重要實(shí)驗(yàn)方法,是研究超晶格及多量子阱結(jié)構(gòu)性質(zhì)的有序手段c

   (2)霍爾效應(yīng)分析儀

   霍爾效應(yīng)是指固體材料中的載流子在外加磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),受到洛倫茲力的作用而使軌跡發(fā)生偏移,并在材料兩側(cè)產(chǎn)生電荷積累,形垂直于電流方向的電場(chǎng),最終使載流子受到的洛倫茲力與電場(chǎng)斥力相平衡,在兩側(cè)建立起一個(gè)穩(wěn)定的電勢(shì)差。這個(gè)電勢(shì)差稱為霍爾電壓。霍爾效應(yīng)分析儀作為測(cè)定半導(dǎo)體材料電磁特性的儀器,可以得到材料的載流子濃度、遷移率、電阻率及霍爾系數(shù)等參數(shù)。

   (3)原子力顯微鏡(AFM)

   原子力顯微鏡是一種納米級(jí)高分辨的掃描探針顯微鏡,利用原子之間的作用力探測(cè)出樣品的三維表面圖。AFM的關(guān)鍵部件是一端帶有尖細(xì)探針的微觀懸臂,用以掃描樣品表面,感應(yīng)原子間的作用力,如圖5-18所示。激光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微懸臂背面,并被反射到由光電二極管構(gòu)成的檢測(cè)器。當(dāng)探針在距離樣品表面l~3nm的位置掃描時(shí),由于樣品表面原子與探針原子之間的作用力,微懸臂將隨樣品表面形貌而彎曲起伏,反射光束也隨之偏移。因此,通過光電二極管檢測(cè)光斑位置的變化,就可獲得樣品表面形貌的信息。