芯片技術(shù)
發(fā)布時間:2016/11/5 19:17:58 訪問次數(shù):1281
在LED外延片上需要連接金屬電極(p極和n極)才能夠與外電路連接導(dǎo)電。由于現(xiàn)JANTX2N6796在的外延片―般是在藍(lán)寶石異質(zhì)襯底上制備,藍(lán)寶石不導(dǎo)電,因此需要刈LED外延片進(jìn)行特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計以形成導(dǎo)電的p極和n極,pn極的形成過程實際上就是LED芯片的工藝流程。
芯片工藝流程
在LED外延片上對少n結(jié)的兩個電極的加工,是制作LED芯片的關(guān)鍵工序,包括清洗、蒸鍍、黃光、化學(xué)蝕刻、熔合、研磨等程序,詳細(xì)流程如圖5-19所示;然后進(jìn)行劃片、測試和分選,從而得到LED芯片。對于氮化鎵基LED芯片而言,常用的藍(lán)寶石襯底不導(dǎo)電,一般的結(jié)構(gòu)設(shè)計是刻蝕出n~GaN層并在其表面蒸鍍電極,然后在最外層的p-C・aN薄膜表面蒸鍍p電極。
在LED外延片上需要連接金屬電極(p極和n極)才能夠與外電路連接導(dǎo)電。由于現(xiàn)JANTX2N6796在的外延片―般是在藍(lán)寶石異質(zhì)襯底上制備,藍(lán)寶石不導(dǎo)電,因此需要刈LED外延片進(jìn)行特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計以形成導(dǎo)電的p極和n極,pn極的形成過程實際上就是LED芯片的工藝流程。
芯片工藝流程
在LED外延片上對少n結(jié)的兩個電極的加工,是制作LED芯片的關(guān)鍵工序,包括清洗、蒸鍍、黃光、化學(xué)蝕刻、熔合、研磨等程序,詳細(xì)流程如圖5-19所示;然后進(jìn)行劃片、測試和分選,從而得到LED芯片。對于氮化鎵基LED芯片而言,常用的藍(lán)寶石襯底不導(dǎo)電,一般的結(jié)構(gòu)設(shè)計是刻蝕出n~GaN層并在其表面蒸鍍電極,然后在最外層的p-C・aN薄膜表面蒸鍍p電極。
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