離子注人的雜質(zhì)分布與擴(kuò)散不同。如上所述,即使相同能量的離子,其路徑和射程也有所不同, PG124S15導(dǎo)致射程分布的統(tǒng)計(jì)特征。對一定劑量的離子束,其能量是按概率分布的,所以雜質(zhì)分布也是按概率分布的。注人離子在靶內(nèi)分布與注人方向有著一定的關(guān)系,一般來說,離子束的注人方向與靶表面垂直方向的夾角比較小-通常假設(shè)離子束的注人方向垂直靶表面。

   進(jìn)人靶內(nèi)的離子.在同靶內(nèi)原子核及電子碰撞過程中,不斷損失能量,最后停止在某一位置。任何一個入射離子,在靶內(nèi)所受到的碰撞是一個隨機(jī)過程。雖然可以做到只選出那些能量相等的同種離子注入,但各個離子在靶內(nèi)所發(fā)生的碰撞、每次碰撞的偏轉(zhuǎn)角和損失的能量、相鄰兩次碰撞之間的行程、離子在靶內(nèi)所運(yùn)動的路程總長度以及總長度在人射方向的投影射程(注入深度)都是不相同的。 如果注人的離子數(shù)量很小,它們在靶內(nèi)分布是很分散的;但是,如果注人大量的離子,那么這些離子在靶內(nèi)將按一定統(tǒng)計(jì)規(guī)律分布。