當前,蒸鍍設備主要采用的加熱器類型及性能特點如下。

   ①電阻加熱器。它是利OP27GS用電功率為源提供能量使源蒸發(fā)的。加熱器材料多為難熔金屬,如鎢、鉬、鉭等,制成螺旋式、錐形籃式、舟式、坩堝式等式樣,各種形狀的電阻加熱器結構如圖812所示。

   選擇加熱器材料時應考慮材料熔點應高,飽和蒸氣壓應低,化學性能應穩(wěn)定。而加熱器的形狀應視蒸發(fā)源形狀而定,絲狀的源(如鋁絲、金絲)可以掛在螺旋式加熱器上;顆粒狀或塊狀的源(如鉻粒)可以放置在錐形籃式加熱器上;粉末狀源(如銀粉)可以擺放在舟式或坩堝式加熱器上。

   蒸發(fā)源對加熱器材料是否浸潤也非常重要。源在加熱器上受熱熔化后有擴展傾向時,浸潤性好,蒸發(fā)面大,認為是面蒸發(fā)。而源受熱熔化后不能在加熱器上擴展時,浸潤性差,認為是點蒸發(fā)。在浸潤的情況下,蒸發(fā)源與加熱器材料相容,因而蒸發(fā)狀態(tài)穩(wěn)定,特別對絲狀蒸發(fā)源來說,浸潤性更重要,如果浸潤性差,熔化的源易從加熱器上脫落。例如,銀絲用鎢絲制成的螺旋式加熱器蒸鍍時,熔融銀

對鎢的浸潤性差,非常容易脫落,因此,一般使用鉬舟作為鍍銀的加熱器。電阻加熱器結構簡單、使用方便,但不能用于蒸鍍某些難熔金屬和高熔點氧化物材料,加熱器材 料的痕量揮發(fā)會給所制各的薄膜帶來污染,高溫加熱器甚至會熔斷。